یونش برخوردیcollision ionizationواژه‌های مصوب فرهنگستانفرایندی که در آن اتم‌های گاز در برخورد با ذرات باردار یونیده می‌شوند
یونشionizationواژه‌های مصوب فرهنگستانفرایندی که در آن اتم یا مولکول خنثی با از دست دادن یا به دست آوردن الکترون باردار می‌شود
یونش انباشتیcumulative ionizationواژه‌های مصوب فرهنگستانیکی از روش‌های کندن الکترون از اتم که در آن اتم را در حالت شبه‌پایدار با ذرات باردار بمباران می‌کنند
یونش باقی‌ماندهresidual ionizationواژه‌های مصوب فرهنگستانیونش گاز موجود در محفظه‌ای بسته که ناشی از عبور پرتوهای کیهانی است و نه ناشی از عوامل شناخته‌شده
یونش تابشیradiation ionizationواژه‌های مصوب فرهنگستانیونیده شدن اتم یا مولکول براثر تابش الکترومغناطیسی
برخورد نوع اولcollision of first kindواژه‌های مصوب فرهنگستانبرخوردی ناکشسان که در آن بخشی از انرژی جنبشی ذرۀ برخوردکننده باعث برانگیختگی یا یونش ذرات هدف می‌شود
برخورد انرژیگیرendoergic collisionواژه‌های مصوب فرهنگستانبرخورد ناکِشسانی که در آن بخشی از انرژی جنبشی ذرۀ فرودی صرف برانگیزش یا یونش ذرۀ هدف می‌شود
سطح مقطع یونشionization cross sectionواژه‌های مصوب فرهنگستانسطحی که احتمال یونیده شدن اتم یا یون را در برخورد با ذره یا فوتونی پرانرژی نشان می‌دهد